Trước những năm 1930, về cơ bản chỉ có Đức và Pháp có thể sản xuất máy tạo oxy.Vào thời điểm đó, máy tạo oxy (máy tạo oxy hấp phụ biến áp) chỉ có thể đáp ứng nhu cầu hàn cắt thiết bị sản xuất oxy và nitơ cần thiết cho ngành công nghiệp hóa chất.Việc sản xuất máy tạo ôxy chủ yếu là loại vừa và nhỏ, công suất từ ​​2m3/h đến 600m3/h và khoảng 200 chủng loại.Cácmáy tạo oxyquá trình được sử dụng là quá trình áp suất cao và áp suất trung bình.
Từ năm 1930 đến năm 1950, ngoài Đức và Pháp, các nước khác như Liên Xô, Nhật Bản, Hoa Kỳ và Anh cũng bắt đầu sản xuất máy tạo oxy.Trong giai đoạn này, với sự phát triển của sản xuất, lĩnh vực ứng dụng của máy tạo oxy (máy tạo oxy hấp phụ áp suất thay đổi) đã được mở rộng và thúc đẩy sự phát triển của máy tạo oxy lớn.Vì điện và vật liệu kim loại cần thiết để tạo ra 1 m3 oxy trong máy tạo oxy lớn cao hơn so với máy tạo oxy cỡ nhỏ và vừa, nên sự đa dạng của các loại máy tạo oxy lớn đã tăng lên nhiều hơn từ năm 1930 đến năm 1950, chẳng hạn như 5000 m3/h trong Tây Đức, 3600 m3/h ở Liên Xô và 3000 m3/h ở Nhật Bản.các quy trình được sử dụng vào thời điểm đó, ngoài áp suất cao và trung bình, bắt đầu sử dụng các quy trình áp suất cao và thấp.Năm 1932, lần đầu tiên Đức sử dụng máy tạo oxy trong công nghiệp luyện kim và amoniac.
Sau năm 1950, ngoài các máy tạo oxy (máy tạo oxy hấp phụ biến áp) được sản xuất ở các nước trên còn có Trung Quốc, Cộng hòa Séc, Đông Đức, Hungary, Ý, v.v... (Trung Quốc phát triển muộn, đều là máy làm lạnh sâu). ).
Do sự phát triển của ngành thép, công nghiệp phân bón nitơ và công nghệ tên lửa, mức tiêu thụ oxy và nitơ đã tăng lên nhanh chóng, điều này đã thúc đẩy sự phát triển quy mô lớn của máy tạo oxy.Kể từ năm 1957, các máy tạo oxy 10.000m3/h lần lượt được giới thiệu.kể từ năm 1967, theo thống kê chưa đầy đủ, có 87 máy tạo oxy lớn trên 20.000 m3/h, đơn vị lớn hơn là 50.000 m3/h và đơn vị lớn hơn đang được phát triển.
Trong 20 năm qua, phạm vi sản phẩm đã tăng lên nhanh chóng và dần dần hình thành một chuỗi.Ví dụ như máy tạo oxy lớn Linde của Tây Đức có sản phẩm tiêu biểu 1000~40000m3/h;kobelco nhật bản có dòng OF;Hitachi Nhật Bản sản xuất tất cả các mẫu TO;Nhật Bản Oxy có loại NR;Anh có sản phẩm hàng loạt 50 ~ 1500 tấn / ngày.Đồng thời, các máy tạo oxy lớn về cơ bản sử dụng toàn bộ quy trình áp suất thấp.
Nói tóm lại, sự phát triển của máy tạo oxy (máy tạo oxy hấp phụ áp suất thay đổi) là một quá trình không hoàn hảo và thiết bị đã phát triển từ cỡ nhỏ và vừa đến cỡ lớn.Quá trình đã phát triển từ áp suất cao (200 atm), áp suất trung bình (50 atm) và áp suất cao và thấp đến áp suất thấp hoàn toàn (6 atm), do đó giảm mức tiêu thụ điện năng đơn vị và tiêu thụ vật liệu kim loại của máy tạo oxy và mở rộng hoạt động đi xe đạp.